International Journal of Heat and Mass Transfer, Год журнала: 2024, Номер 236, С. 126331 - 126331
Опубликована: Окт. 24, 2024
Язык: Английский
International Journal of Heat and Mass Transfer, Год журнала: 2024, Номер 236, С. 126331 - 126331
Опубликована: Окт. 24, 2024
Язык: Английский
Applied Thermal Engineering, Год журнала: 2025, Номер unknown, С. 125528 - 125528
Опубликована: Янв. 1, 2025
Язык: Английский
Процитировано
8International Communications in Heat and Mass Transfer, Год журнала: 2025, Номер 162, С. 108682 - 108682
Опубликована: Фев. 2, 2025
Язык: Английский
Процитировано
4Energy, Год журнала: 2025, Номер unknown, С. 135014 - 135014
Опубликована: Фев. 1, 2025
Язык: Английский
Процитировано
2Applied Thermal Engineering, Год журнала: 2025, Номер unknown, С. 125453 - 125453
Опубликована: Янв. 1, 2025
Язык: Английский
Процитировано
1Applied Thermal Engineering, Год журнала: 2025, Номер unknown, С. 126243 - 126243
Опубликована: Март 1, 2025
Язык: Английский
Процитировано
1Materials, Год журнала: 2025, Номер 18(1), С. 211 - 211
Опубликована: Янв. 6, 2025
In semiconductor inspection equipment, a chuck used to hold wafer is equipped with cooling or heating system for temperature uniformity across the surface of wafer. Surface important increasing speed. Triply periodic minimal surfaces (TPMSs) are proposed enhance uniformity. TPMSs topic research in field additive manufacturing and type metamaterial inspired by nature. no intersections. Their continuous curve offers self-support during process. This structure enables division single space into two domains. As result, heat transfer area per unit volume larger than that general lattice structures, leading superior performance. paper proposes new called double-wall TPMS. The process creating double-walled TPMS adjusting thickness sheet was investigated, its thermal performance studied. Finally, applied chuck. optimal designs diamond gyroid structures exhibited difference 0.23 °C 0.66 °C, respectively. Accordingly, models optimized proposed.
Язык: Английский
Процитировано
0Applied Thermal Engineering, Год журнала: 2025, Номер unknown, С. 126101 - 126101
Опубликована: Фев. 1, 2025
Язык: Английский
Процитировано
0Thermal Science and Engineering Progress, Год журнала: 2025, Номер unknown, С. 103499 - 103499
Опубликована: Март 1, 2025
Язык: Английский
Процитировано
0International Journal of Thermal Sciences, Год журнала: 2025, Номер 215, С. 109966 - 109966
Опубликована: Май 3, 2025
Язык: Английский
Процитировано
0International Journal of Heat and Mass Transfer, Год журнала: 2025, Номер 248, С. 127217 - 127217
Опубликована: Май 9, 2025
Язык: Английский
Процитировано
0