Journal of Alloys and Compounds, Год журнала: 2025, Номер unknown, С. 179608 - 179608
Опубликована: Март 1, 2025
Язык: Английский
Journal of Alloys and Compounds, Год журнала: 2025, Номер unknown, С. 179608 - 179608
Опубликована: Март 1, 2025
Язык: Английский
Electronics, Год журнала: 2025, Номер 14(3), С. 595 - 595
Опубликована: Фев. 2, 2025
In the modern world, gas sensors play a crucial role in sectors such as high-tech industries, medicine, and environmental monitoring. Among these fields, oxygen are most important. There several types of sensors, including optical, magnetic, Schottky diode, resistive (or chemoresistive) ones. Currently, oxygen-resistive (ORSs) described literature fabricated thick layers, typically deposited via screen printing, they operate at high temperatures, often exceeding 700 °C. This work presents novel approach utilizing atomic layer deposition (ALD) to create very thin layers. Combined with appropriate doping, this method aims reduce energy consumption by lowering both mass requiring heating operating temperature. The device using proposed process demonstrates response 88.21 relatively low temperature 450 °C, highlighting its potential ORS applications based on doped ALD films.
Язык: Английский
Процитировано
1ChemPhysMater, Год журнала: 2025, Номер unknown
Опубликована: Фев. 1, 2025
Язык: Английский
Процитировано
1Applied Surface Science, Год журнала: 2024, Номер 678, С. 161111 - 161111
Опубликована: Авг. 30, 2024
Язык: Английский
Процитировано
5Journal of environmental chemical engineering, Год журнала: 2024, Номер unknown, С. 115249 - 115249
Опубликована: Дек. 1, 2024
Язык: Английский
Процитировано
5Sensors and Actuators B Chemical, Год журнала: 2024, Номер 425, С. 136972 - 136972
Опубликована: Ноя. 18, 2024
Язык: Английский
Процитировано
4Microchemical Journal, Год журнала: 2025, Номер 209, С. 112646 - 112646
Опубликована: Янв. 4, 2025
Язык: Английский
Процитировано
0Talanta, Год журнала: 2025, Номер 287, С. 127673 - 127673
Опубликована: Янв. 30, 2025
Язык: Английский
Процитировано
0Coordination Chemistry Reviews, Год журнала: 2024, Номер 521, С. 216171 - 216171
Опубликована: Авг. 29, 2024
Язык: Английский
Процитировано
3Journal of Alloys and Compounds, Год журнала: 2025, Номер unknown, С. 179608 - 179608
Опубликована: Март 1, 2025
Язык: Английский
Процитировано
0